公司簡介
合肥光敏半導體有限公司專業研發和生產新一代的紫外探測、紫外LED芯片、并提供與紫外相關的技術咨詢與服務。團隊具備強大的技術研發能力,有著豐富的半導體器件設計制造及管理經驗,以開發性能先進的紫外芯片為使命,實現我國在紫外芯片領域的自主創新。
擁有4000㎡的超凈間,多方位的微加工關鍵設備,具備器件加工、封裝、器件光電特性測試和器件穩定性測試等一套完整的設備條件,具體研究條件如下:材料分析條件:擁有Philips高分辨XRD、變溫霍爾測試系統、變溫的PL測試系統、原子力顯微鏡、Jobin Yvon微區掃描激光拉曼譜儀、JEOL掃描電子顯微鏡(帶有EDS、CL、EBIC)和EMMI紅外掃描成像系統等材料和器件表征設備。
器件微加工條件:擁有整條工藝流水線,包括半導體微加工設備:光刻機、電子束蒸發系統、磁控濺射系統、脈沖激光濺射系統、反應離子刻蝕機、PECVD介質膜淀積系統、快速退火爐、點焊機等一套完整的器件加工設備。
器件測試條件:擁有Cascade探針臺、Keithley I-V和C-V測試儀、光譜響應測試系統、噪聲頻譜測試系統等器件表征測試設備。